8617729330137
yanggang@cljzmet.com
tlhTungumál
Sirkon sputtering Target

Sirkon sputtering Target

Sirkon sputtering skotmörk koma venjulega í ýmsum stærðum eftir notkun, samhæfni búnaðar og framleiðsluferli. Eftirfarandi stöðluð og sérsniðin stærðarsvið eru fáanleg: Hringlaga sirkonmarkmið (almennur stærð) Þvermál: 2 tommur (50,8 mm) — Lágmarksstærð sem almennt er notuð, hentugur fyrir lítinn tilraunabúnað og nákvæmnishúðunkerfi 3 tommur (76,2 mm) — Stöðluð stærð í hálfleiðara- og ljóshúðunariðnaði, mikið notaður í segulstraumsstærð fyrir 1 mm straumsstærð (1 mm) framleiðsla, jafnvægishagkvæmni og kostnaður6 tommur (152,4 mm) — Almennt notað í framleiðslu með mikilli-afköstum, hentugur fyrir húðunarþörf á stórum-flötum φ200 mm – φ600 mm — Styður aðlögunarvalkostir fyrir stóra-stærð, oft notaðir á sérhæfðum sviðum eins og sólarorku og jöfnunarefnissvið: 10 mm þykkt: þykkt svið 3 mm. og sputtering uniformity.12 mm – 40 mm — Fyrir há-afl eða langan-líftíma, eins og rannsóknarkerfi- eða samfelld framleiðslukerfi. Rétthyrnd/Planar TargetsStærðarsvið: 100 mm × 30 mm — Lítil rétthyrnd skotmörk sem almennt eru notuð í rannsóknarstofurannsóknum, 500 mm × 500 mm × Iðnaðar-slétt skotmörk, hentugur fyrir stóran PVD búnað. Þykkt: Venjulega 5 mm – 15 mm, stillt í samræmi við undirlagsstærð og kröfur um einsleitni við sputtering. Sérsniðin í boði samkvæmt teikningum, þar á meðal: Óreglulegar útlínur (hringur, sporbaugur, viftu-laga) Sérstök þykkt (<2 mm ultra-thin targets or >50 mm þykk skotmörk)Yfirborðsmeðferðir (glansandi áferð, sýru-þveginn áferð, Ra1,6μm fáður)
Hringdu í okkur
Lýsing
Zirconium Sputtering Target

Vöruheiti: Zirconium Sputtering Target

Efnisflokkur: Zr702 (ASTM B493 bekk R60702)

Hreinleikastig: 99,95% (3N5) ​​​​Mál-undirstaða (Hf-frítt)

Kjarnaforrit: Háþróuð hálfleiðaraumbúðir, sjónhúð, bakrafskaut fyrir sólarfrumu, örrafrænt samtengingarlag (PVD ferli)

Framleiðslustaðla: Samræmist ASTM B493/B493M-14 (forskrift fyrir sirkon og sirkon álfelgur) og SEMI M13-1102 (almenn forskrift fyrir sputtering targets)

Fræðilegur þéttleiki sirkon sputtering Target er 6,51 g/cm³, þéttleiki þess er meiri en eða jafn og 99,0%, hitaleiðni þess er 22,6 W/m·K og varmaþenslustuðull þess (20–300 gráður) er 5,7 ×⁶⁻. Þessar færibreytur eru mæld gildi fyrir há-hreinleika Zr702 markmið í stöðluðu glæðu ástandi, hentugur fyrir há-afl DC/RF segulsviða sputtering forrit, og sýna hitastöðugleika sem er betri en 99,9% hrein efni.

Yfirborðsgæði vöru og örbyggingarkröfur:

Kornastærð: Minna en eða jafnt og 50 μm (meðaltal), mæld með EBSD (Electron Backscatter Diffraction), með staðalfráviki á kornastærðardreifingu Minna en eða jafnt og 15 μm.

Yfirborðsgrófleiki (Ra): Minna en eða jafnt og 0,8 μm, mældur með 3D sjónsniðsmæli (ISO 4287), laus við rispur, ídrátt og holur.

Cracks/Delamination: Not permitted. Measured using ultrasonic C-scan (ASTM E213), any crack >0.5 mm in length or delamination >1 mm² er hafnað.

Örbygging: Samræmd jafnása -fasabygging. SEM (500× stækkun), laus við svitahola, innfellingar og aðskilnað.

Öll skotmörk eru þéttuð með heitri isostatic pressu (HIP) til að tryggja bindistyrk kornamarka sem er meiri en eða jafnt og 180 MPa, sem uppfyllir kröfuna um að engin aflögun bilun eftir meira en eða jafnt og 500 klukkustundir af samfelldri sputtering.

High-purity Zr702 sputtering target

 

 

Pökkunar- og sendingarforskriftir fyrir sirkon sputtering target (GHS og IEC samhæft):

Innri umbúðir: Lofttæmd (minna en eða jafnt og 1×10⁻³ mbar) + fyllt með há-argoni (99,999%), í samræmi við ASTM F2095.

Ytri umbúðir: Tvöfaldur-lagaður raka-heldur álpappírspoki + EPE dempandi froðu + viðarkista (samhæft við ISPM-15), IEC 60068-2-78.

Rakaverndarmerki: Raka-heldur + rakavísirspjald (minna en eða jafnt og 5% RH), í samræmi við IEC 60068-2-30.

MSDS/SDS: Samræmist 7. endurskoðun GHS, sem inniheldur 16 staðlaða hluta, þar á meðal Zr ryksprengingarhættu (P201, P261, P304+340), OSHA 29 CFR 1910.1200. Sendingarmerki: UN 1399 (ekki-eldfimur fastur málmur) + ætandi efni.

Í hverjum kassa er þurrkefnispakki (kísilgel) og rakamælir. Hitastýring allan flutning: 5–30 gráður, rakastig Minna en eða jafnt og 40%.

Algengar spurningar

Sp.: Getur þú veitt dæmigerðar dæmisögur viðskiptavina um sirkon sputtering Target?

A: Tíu bestu hálfleiðaraframleiðendur heims, þar á meðal TSMC, Samsung Electronics, Intel og SK Hynix, eru allir óbeinir-endanotendur sirkonmarkmiða. Háþróaðir ferlar þeirra (svo sem hnútar undir 5nm) nýta víða Zr702 markmið fyrir málmhindranir, viðmótsaðgerðalög og samtengingarmannvirki, afhent með PVD búnaði eins og Applied Materials Endura® og Lam Research Kiyo®. Sirkonmarkmið eru þannig felld inn sem lykilvirk efni í fjöldaframleiðsluferlum þeirra.

Leiðandi alþjóðleg skjá- og ljósavirkjafyrirtæki, eins og LG Display, Samsung Display og First Solar, nota há-sirkonmarkmið í OLED rafskautshúðun og CIGS sólarrafskautsframleiðsla til að ná lágri-viðnámi, mikilli-stöðugleika þunnfilmu úr málmi, sem uppfyllir kröfur um stóra{}einföldu{4}framleiðslu.

Hágæða framleiðslufyrirtæki í geim- og varnarmálum-, þar á meðal Lockheed Martin, Boeing og Northrop Grumman, nota sirkonmarkmið fyrir PVD-útfellingu á háum-hita, tæringarþolinni-húð sem er borið á vélaríhluti, varmavarnarkerfi og laumuvirki ratsjár. Innkaupastaðlar þeirra eru ströngir og krefjast þess að farið sé að AS9100D vottun og rekjanleika vottunarlotu.

Sp.: Samþykkir þú bankakreditbréf?

A: Já, við tökum við greiðslubréfum (L/C) sem greiðslumáta fyrir kaup. Vinsamlegast hafðu samband.

Sp.: Eru sirkon sputtering markmið almennt vottuð af ISO 9001, IATF 16949 og AS9100?

A: Já, á sviði sirkon-sputteringsmarkmiða fyrir iðnaðar- og há-endir forrit, hafa ISO 9001, IATF 16949 og AS9100D vottun orðið alhliða og skyldubundin inngangsstaðall.

 

 

 

 

maq per Qat: sirkon sputtering miða, Kína sircon sputtering miða framleiðendur, birgja, verksmiðju

Þér gæti einnig líkað

Sirkon og sirkon álfelgur soðinn pípa
Sirkon og sirkon álfelgur soðinn pípa
Hreint sirkon og álfelgur
Hreint sirkon og álfelgur
Zirconium stangir og sirkon álfelgur
Zirconium stangir og sirkon álfelgur
Iðnaðar sirkonvinnsluhlutar
Iðnaðar sirkonvinnsluhlutar
Krómamarkefni
Krómamarkefni
R60702 sirkonstöng
R60702 sirkonstöng